메가경제 - 삼성전자, 화성에 최첨단 반도체 극자외선(EUV) 라인 착공... 차세대 노광기술로 미세화 혁신

[메가경제 유원형 기자] 반도체 산업은 공정 미세화를 통해 집적도를 높이고 세밀한 회로를 구현하며 반도체의 성능과 전력 효율을 향상하는 방향으로 발전해 왔다. 그러나 최근 한 자릿수 나노 단위까지 미세화가 진행됨에 따라 보다 세밀한 회로를 구현하기 위해서는 또 다른 혁신적인 광원이 필요하게 됐다. 기존 ArF(불화아르곤) 광원보다 파장이 짧은 EUV(극자외선) 장비의 도입이 불가피하게 된 배경이다.

삼성전자가 23일 경기도 화성캠퍼스에서 '삼성전자 화성 EUV 라인 기공식'을 열고 본격적으로 라인 건설에 착수했다고 밝혔다.

이번에 착공한 화성 EUV 라인은 2019년 하반기에 완공한 뒤 시험 생산을 거쳐 2020년부터 본격적으로 가동을 시작할 예정이다.

반도체 제조과정에서 파장이 짧을수록 더 미세한 패턴을 구현할 수 있다. EUV(극자외선)은 차세대 노광기술의 최첨단 광원이다. 이번 신규 라인에는 미세공정 한계 극복에 필수적인 EUV(극자외선) 장비가 도입될 예정이다. 이 라인이 본격 가동되면 삼성전자는 반도체 미세공정 기술 리더십을 유지하는 데 핵심 역할을 할 것으로 예상된다.

삼성전자는 "EUV 기술이 본격적으로 상용화되면 반도체의 성능과 전력 효율을 향상할 수 있음은 물론 회로 형성을 위한 공정 수가 줄어들어 생산성도 획기적으로 높일 수 있다"고 전망했다.

화성 EUV 라인의 초기 투자 규모는 건설 비용 포함 2020년까지 60억 달러 수준이지만 라인 가동 이후 시황에 따라 추가 투자를 추진할 계획이다.

삼성전자는 화성 EUV 라인을 통해 향후 모바일·서버·네트워크·HPC(고성능 컴퓨팅) 등 고성능과 저전력이 요구되는 첨단 반도체 시장 수요에 적기 대응하고, 7나노 이하 파운드리(반도체 수탁생산) 미세공정 시장을 주도해 나갈 계획이다.

2000년도 삼성전자 화성캠퍼스 개발로 시작된 삼성전자와 화성시의 동반 성장은 이번 EUV 신규 라인 건설로 더욱 확대될 전망이다. 화성시는 첨단 반도체 산업의 메카로서의 입지를 더욱 확고히 다지게 됐다.

삼성전자 DS부문장 김기남 사장은 기념사를 통해 “이번 화성 EUV 신규 라인 구축을 통해 화성캠퍼스는 기흥·화성·평택으로 이어지는 반도체 클러스터의 중심이 될 것”이라며 “삼성전자는 산학연 및 관련 업계와의 다양한 상생협력을 통해 국가 경제에 기여할 것”이라고 밝혔다.

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